產品型號

1400℃三溫區(qū)真空氣氛管式爐GSL-1400X-Ⅲ

本設備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標準帶有寶塔接頭，可自費改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風裝置：需要

主要特點

1、雙層殼體，爐膛采用高純氧化鋁纖維，真空吸附一次成型。

2、高密度硅碳棒，真空擠壓成型。

3、密封法蘭，可通入氣氛抽真空。

4、已通過CE認證。

技術參數

1、電源：三相AC380V，50Hz  大6KW

2、剛玉管：Ø60mm×1000mm，Ø80mm×1000mm

3、加熱元件：硅碳棒

4、熱電偶：S型

5、工作溫度：1300°C（1400℃<30min）

6、控溫精度：±1℃

產品規(guī)格

尺寸：1350L×470W×750H ；重量：150kg

標準配件

1

剛玉（氧化鋁）管

1根

2

氧化鋁管堵

4個

3

熱電偶（S型）

1個

4

不銹鋼法蘭

1套

5

硅膠密封圈

6個

6

高溫手套

1雙

可選配件

1、PC機控制軟件及通訊模塊

2、數字真空計

3、剛玉管、石英管

4、氧化鋁坩堝、石英坩堝

5、坩堝鉗

6、高真空系統(tǒng)

7、供氣混氣系統(tǒng)

8、雙級旋片真空泵