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精密液體氣相發(fā)生器是針對實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng)，其液體流量是通過數(shù)字液體泵來控制，Z大流量為80ml/min，精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后，被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽，然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體，如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn（C2H5）2，以及多種有機(jī)物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研