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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  CVD及PECVD系統(tǒng)  >  CBD/PECVD系統(tǒng)  >  OTF-1200X-5-III-F3LV帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

簡(jiǎn)要描述:帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調(diào)整三個(gè)溫區(qū)而建立不同梯度的熱場(chǎng),可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實(shí)驗(yàn)。

  • 產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-5-III-F3LV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1758

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  帶滑動(dòng)法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

主要特點(diǎn)

  1雙層殼體,配有冷系統(tǒng),爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。

  2內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

  3一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計(jì)。

  4采用三個(gè)獨(dú)立PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

  5已通CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  7KW 40A保險(xiǎn)絲)

  2、石英管:外徑Φ125mm,內(nèi)徑120mm,長(zhǎng)1400mm,帶有一對(duì)真空密封法蘭

  3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

  4、加熱區(qū)域:溫區(qū)I長(zhǎng)229mm,溫區(qū)II長(zhǎng)457mm,溫區(qū)III長(zhǎng)229mm,總長(zhǎng)915mm

  5、恒溫區(qū)域:三個(gè)溫區(qū)為同一溫度時(shí)為625mm,溫區(qū)II110mm

  6工作溫度:zui高1200,連續(xù)工作1100

  7、zui大升降溫速率:20/min

  8、控溫精度:±1

  9、熱電偶:K

  10、浮子流量計(jì):3個(gè),量程0-100ml/min0-160ml/min、0-250ml/min

  11、數(shù)字真空計(jì):10-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg

 

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